形成石墨烯之裝置及其方法 | |
以繞卷式結構結合新穎合成機制於大面積合成高品質石墨烯 | |
創作人:蘇清源 教授 | |
技術特點 ●以繞卷式結構結合新穎合成機制於大面積合成高品質石墨烯。 ●無須複雜且昂貴的石墨烯合成設備,即可進行規模化量產,降低成本,達到商轉之需求。 ●搭配本實驗室正在申請的『大面積石墨烯轉印技術』專利,可針對欲使用之不同基板(矽晶圓、玻璃、軟板……等)進行客製化的大面積、高潔淨度 之石墨烯轉移。 ●目前已可獲得4吋晶圓面積。投入量產製程後,可立即建立各種石墨烯基板之產品線。 ●此方法為獨創的綠色製程,具有環境永續的產品特性。 |
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