專利名稱 | 矽薄膜太陽能電池之製備方法METHOD FOR MANUFACTURING SILICON THIN-FILM SOLAR CELLS |
申請日 (校編號) | 2012/01/04 (099074US) 2011/01/13 (099074TW) |
專利證書號 | 8,679,892 美國 I437721 中華民國 |
專利權人 | 國立中央大學 |
發明人 | 利定東、張正陽、陳昇暉、李正中 |
技術摘要: | ||||||||
本發明係有關於一種矽薄膜太陽能電池之製備方法,其包括:提供一基板;形成一第一電極於該基板上;藉由化學氣相沉積法,形成一第一摻雜半導體層於該第一電極上;藉由化學氣相沉積法,形成一本質層於該第一摻雜半導體層上,其中該本質層包含複數個非晶/奈米晶矽層,而該本質層係藉由變化該些非晶/奈米晶矽層之平均晶粒尺寸而具有不同能隙;藉由化學氣相沉積法,形成一第二摻雜半導體層於該本質層上,其中第一摻雜半導體層與第二摻雜半導體層中之其中一者為p型非晶矽層,而另一者為n型非晶/奈微晶矽層;以及形成一第二電極於該第二摻雜半導體層上。據此,本發明可於單接面結構中達到擴展吸收光譜之目的。 |
||||||||
解決的問題或達成的功效: | ||||||||
提供一種矽薄膜太陽能電池之製備方法,俾能形成能隙漸變之光吸收層,可於單接面結構中達到擴展吸收光譜之目的。 |
||||||||
應用領域: | ||||||||
關於一種矽薄膜太陽能電池之製備方法,尤指一種具有能隙漸變光吸收層之矽薄膜太陽能電池製備方法。 |
||||||||
適用產品: | ||||||||
太陽能電池 |
||||||||
IPC: | ||||||||
H01L-031/18(2006.01);
H01L-031/042(2006.01) |
||||||||
Claim 1: | ||||||||
1.一種矽薄膜太陽能電池之製備方法,其包括:提供一基板;形成一第一電極於該基板上;藉由化學氣相沉積法,形成一第一摻雜半導體層於該第一電極上;藉由化學氣相沉積法,形成一本質層於該第一摻雜半導體層上,其中該本質層包含複數個非晶/奈米晶矽層,而該本質層係藉由變化該些非晶/奈米晶矽層之平均晶粒尺寸而具有不同能隙;藉由化學氣相沉積法,形成一第二摻雜半導體層於該本質層上,其中該第一摻雜半導體層與該第二摻雜半導體層中之其中一者為一p型非晶矽層,而另一者為一n型非晶/奈微晶矽層;以及形成一第二電極於該第二摻雜半導體層上。 |
||||||||
相關圖片: | ||||||||
| ||||||||
聯繫方式 | ||||||||
|
||||||||