一種高靈敏度表面電漿共振感測器 SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR WITH HIGH SENSITIVITY
 專利名稱 |
一種高靈敏度表面電漿共振感測器 SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR WITH HIGH SENSITIVITY |
| 申請日 (校編號) |
2003/01/23 (091015TW) |
| 專利證書號 |
200700 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
陳顯禛、林俊佑、簡汎清、黃崑財、胡文品、陳文逸、李冠卿、李文献 |
| 技術摘要： |
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| 本發明係提供一種高靈敏度表面電漿共振感測器，其係至少由一入射光源，一稜鏡，一建置於該稜鏡表面之金屬層，一建置於該金屬層表面之金屬奈米顆粒層，以及至少一偵測反射光之光偵測器所組成，其可擴展習知表面電漿共振感測器之偵測極限，應用於氣體、化學物質及生物分子方面的偵測。此外，本發明所使用的方法可使生產製程一貫化，並且容易控制膜厚，使成品有較佳的均一性，同時可大幅降低生產成本。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 本發明係利用RF磁控管濺鍍系統(RF Magnetron Sputter)共濺鍍方式，將介電物質與作為金屬奈米顆粒層之金屬為靶極，使該介電物質及金屬奈米顆粒混合並沉積於金屬層上而形成金屬奈米顆粒層，如此不但製程簡單，且可精確控制膜厚。另外，若考慮整體製程作業，金屬薄層與金屬奈米顆粒層的建置均利用RF磁控管濺鍍方式進行，較有利於作業上的一貫化及控制。 |
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| 應用領域： |
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| 關於一種表面電漿共振(Surface Plasmon Resonance, SPR)感測器 |
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| 適用產品： |
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| 精密位移量測工具
生醫檢測
免疫分析 |
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| IPC： |
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| G01N-021/55(2006.01); |
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| Claim 1： |
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| 1.一種表面電漿共振感測器,其係至少包含
一入射光源;
一稜鏡;
一建置於該稜鏡表面之金屬層;
一建置於該金屬層表面之金屬奈米顆粒層;以及
至少一偵測反射光之光偵測器。 |
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| 聯繫方式 |
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