一種微感測片之支撐結構及其成型方法
 專利名稱 |
一種微感測片之支撐結構及其成型方法 |
| 申請日 (校編號) |
2004/01/13 (092031TW) |
| 專利證書號 |
I240955 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
周復初、黃忠賢、張志寶、張正陽 |
| 技術摘要： |
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| 本發明係一種用於微液滴蒸發與溫度感測裝置的微感測片，尤指一種可提升結構強度及延長使用壽命的微感測片之支撐結構及其成型方法，其係以濕蝕刻液作非等向性蝕刻，而於微感測片底部形成俯視為「一」形狀或「十」形狀之支撐結構，讓整個支撐結構可有效承受微感測片所受微液滴的撞擊，令微感測片不致受到微氣味液滴撞擊而崩毀，且感測溫度時亦不致於透過支撐結構將熱傳導開，以確保感測的準確性，同時可達到提升其結構強度及增長使用壽命之目的。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 讓整個支撐結構可有效承受微感測片所受微液滴的撞擊，令微感測片不致受到微氣味液滴撞擊而崩毀，且感測溫度時亦不致於透過支撐結構將熱傳導開，以確保感測的準確性，同時可達到提升其結構強度及增長使用壽命之目的。 |
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| 應用領域： |
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| 隸屬一種用於虛擬實境中之微液滴蒸發與溫度感測裝置之微感測片的技術領域 |
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| 適用產品： |
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| 矽晶圓
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| IPC： |
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| H01L-021/027(2006.01); |
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| Claim 1： |
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| 1.一種微感測片之支撐結構,微感測器具有一微感測片及一支撐結構,其中微感測片形成於支撐結構的頂端,且支撐結構係以側邊的側支點頂撐微感測片的側邊緣底面,再者支撐結構中央形成有一向上收束的斜錐狀肋條,該肋條頂端適抵頂於微感測片底面中央,如此可增加微感測片的結構强度,不致因微液滴撞擊而崩毀,且亦不致將熱導開;
藉此,組構成一可提升微感測片結構强度,且可延長微感測片之使用壽命與確保其感測準確性的微感測片之支撐結構者。 |
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