技術摘要: |
本發明係一種微元件之散熱模組與方法,主要係於一微元件上設有一散熱系統,使微元件進行相變化散熱,該散熱系統包括一微溫度感測器,係可感應微元件之微熱點區域的溫度;一液體滴定器,係將液體均勻噴灑於微元件之微熱點區域上;一液體膜檢測系統,係可檢測微元件之微熱點區域上的液體膜;當微溫度感測器檢測該微熱點區域之溫度達到散熱範圍之溫度,即由液體滴定器於微元件表面上供給液體進行相變化散熱,並由液體膜檢測系統監側微熱點區域液體的薄膜狀態,如液體膜未完全被汽化,則依據所量測之溫度,延遲液體供給時間,若微熱點區域上無液體膜殘留,則再次供給液體,此外,由抽風系統保持微熱點區域內之空氣濕度均勻性,避免空氣之濕度達到飽和狀態,提高散熱效果。
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解決的問題或達成的功效: |
供一種微元件散熱之模組與方法,其係能以適當且穩定的熱交換速度,控制微元件之溫度,避免使用過大之散熱機器進行微小熱點之熱排出工作,達到節省能源之目的。
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應用領域: |
屬一種微元件散熱之技術領域,尤指一種可控制熱通量傳遞速率並維持微熱點區域溫度變化在可接受之範圍內。
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適用產品: |
液體膜散熱器
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IPC: |
H01L-023/34(2006.01)
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Claim 1: |
(a)以共沉澱法製備鈰-鋯混合氧化物擔體,將硝酸鈰水合物與硝酸氧鋯水合物以不同比例溶於去離子水中形成金屬鹽水溶液,再與鹼性溶液進行共沉澱,所得微細共沉澱物經過濾、水洗、120℃乾燥及於空氣中650℃燒4小時後,製得鈰-鋯混合氧化物擔體,其中硝酸鈰水合物與硝酸氧鋯水合物之比例以鈰對鈰與鋯之莫耳分率表示,其値介於0.3至1之間;
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