微光學元件及其夾置具以及製作前述兩者的方法
 專利名稱 |
微光學元件及其夾置具以及製作前述兩者的方法 |
| 申請日 (校編號) |
2003/05/20 (091020TW) |
| 專利證書號 |
205387 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
張正陽、李建階、張育誠、邱千峰、王智明、黃裕龍、紀國鐘 |
| 技術摘要： |
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| 一種微光學元件及其夾置具以及製作前述兩者的方法，其結構係由一具開口的矽晶片、兩保護層以及一薄膜光學元件所組成。其中，保護層是配置於矽晶片表面，而薄膜光學元件則置於矽晶片開口上。因為微光學元件及其夾置具是利用體型微矽加工技術所製作的，且其薄膜光學元件材質為在可見光波長範圍內之吸收率較多晶矽低，故能夠提昇光學效率。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 本發明之另一目的是提供一種微光學元件及其夾置具以及製作前述兩者的方法，以提昇光學效率。
本發明之再一目的是提供一種微光學元件及其夾置具 以及製作前述兩者的方法，以做到垂直光軸之微光學元件。 |
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| 應用領域： |
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| 本發明是有關於一種微光學元件及其夾置具以及製作前述兩者的方法，且特別是有關於一種以半導體微機電技術製造微光學元件及其夾置具的方法。 |
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| 適用產品： |
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| 光學元件 |
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| IPC： |
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| B81B-001/00(2006.01);B81C-001/00(2006.01);
(IPC 1-7) : B81B-001/00;B81C-001/00 |
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| Claim 1： |
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| 1.一種微光學元件之夾置具,包括:
一矽晶片,該矽晶片具有至少一開口;
兩保護層,配置於該矽晶片表面;以及
至少一薄膜光學元件,配置於該矽晶片之該至少一開口上。 |
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| 聯繫方式 |
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