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一種單模光纖位移感測器,係將第一光纖與第二光纖分別纏繞於一精密位移平移台上,以當精密位移平移台感受到相對於固定裝置之一位移時,第一光纖與第二光纖所形成之光程差可以加倍,而達成提高量測之靈敏度。此外,當量測所需之位移靈敏度不同時,也可靈活地改變光纖在精密位移平移台上之纏繞圈數,以提供更寬廣之動態範圍。 |
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有鑑於此,本發明提供一種單模光纖位移感測器,其可提供高靈敏度之位移量測需求,並可提供寬廣之動態範圍。 |
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本發明是有關於一種位移感測器,且特別是有關於一種單模光纖位移感測器。 |
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位移感測器 |
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G01B-009/02(2006.01);G01B-011/02(2006.01);G02B-006/00(2006.01); |
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1.一種單模光纖位移感測器,適用於量測相對於一固定裝置之一位移,包括: |
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