分佈式布拉格反射鏡波導及其製造方法
 專利名稱 |
分佈式布拉格反射鏡波導及其製造方法 DISTRIBUTED BRAGG REFLECTOR WAVEGUIDE AND FABRICATING METHOD THEREOF |
| 申請日 (校編號) |
2009/02/23 (097028US) 2008/10/27 (097028TW) |
| 專利證書號 |
7,783,152 美國 I390263 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
陳啟昌、邱華恭 |
| 技術摘要： |
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| 一種分佈式布拉格反射鏡波導之製造方法，包含形成第一分佈式布拉格反射鏡於基板上；形成犧牲材料於第一分佈式布拉格反射鏡上；形成第二分佈式布拉格反射鏡於犧牲材料及第一分佈式布拉格反射鏡上；以及移除犧牲材料。一種應用此方法製成之分佈式布拉格反射鏡波導亦在此揭露。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 本發明是有關於一種中空波導，且特別是有關於一種應用分佈式布拉格反射鏡之中空波導。 |
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| 應用領域： |
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| 因此本發明的目的就是在提供一種利用高反射率膜堆包覆空氣以形成之中空波導，此一波導在大彎角時有很低的轉角損耗。 |
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| 適用產品： |
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| 中空波導 |
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| IPC： |
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| G02B-006/124(2006.01) |
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| Claim 1： |
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| 1.一種分佈式布拉格反射鏡波導之製造方法，包含：形成一第一分佈式布拉格反射鏡於一基板上；形成一犧牲材料於該第一分佈式布拉格反射鏡上；形成一第二分佈式布拉格反射鏡於該犧牲材料及該第一分佈式布拉格反射鏡上；以及在該第二分佈式布拉格反射鏡形成後，浸泡該犧牲材料於一去光阻溶液中，以移除該犧牲材料。 |
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| 相關圖片： |
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