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以導納軌跡圖做薄膜成長之光學監控方法 |
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2005/01/12 (093044TW) |
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I258563 中華民國 |
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國立中央大學 |
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李正中、陳裕仁、郭倩丞、唐謙仁、晏少峰 |
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本發明先取得薄膜的預期導納圖;在薄膜成長時,即時擷取其光學訊號;再將光學訊號即時運算取得即時導納圖,如此可看出薄膜的光學特性與厚度的變化,且可對預期與即時的差異處作出補償。 產業化應用範圍:光學鍍膜公司、光學鍍膜機製造商。 優點及與現有技術或類似產品之分析:薄膜之監控方便,容易判斷停鍍點,降低最後鍍膜結果的誤差。 |
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一傳輸介面,係傳遞該多組差動4-脈衝振幅調變信號; |
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