技術摘要: |
一種廢液中粉體之回收系統及其方法,其係指將製程材料於微製程中所產生存在於廢液之微粉體,以不產生質變的方式予以回收,並獲致潔淨水資源的技術,其係將廢液流經可控制磁場強度之流道,而利用磁力吸附固定廢液中之金屬粉體,接著將廢液經電泳沈積裝置,再施以電壓使電泳沈積裝置產生電場作用,而以電泳沈積法將帶電之矽粉體粒子吸附沈積於電極板上,即可於電極板上蒐集矽粉體粒子,最後再將廢液放流至下游端之過濾裝置;藉此,利用磁力、電化學及物理過濾之多階段分離技術,即可於廢液中以高沈積速率回收獲致不會產生化學變化之矽粉體,以供回收或再精煉使用,而下游端潔淨之水資源,則可供循環再利用,進而達到資源再回收利用的效益。
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解決的問題或達成的功效: |
本發明尤指其提供一種可於廢液中利用磁力、電化學及物理過濾之多階段分離技術,而以高沈積速率回收粉體及水資源,進而達到資源再回收利用之回收系統及其方法。
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應用領域: |
發明利用磁力吸附手段及電泳沈積手段所獲致之導磁性金屬粉體及無化學變化之矽晶粉體,可便於供回收或再精煉使用,其不僅可有效改善全球矽晶材料短料之問題,且下游端潔淨之水資源,並可供循環再利用。
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適用產品: |
廢液處理系統
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IPC: |
C02F-001/42(2006.01);C02F-001/48(2006.01);C02F-001/469(2006.01);C02F-101/20(2006.01)
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Claim 1: |
1.一種廢液中粉體之回收系統,其係包括有:磁力吸附裝置,其係設於廢液流道之上游端,而利用磁力將廢液中之導磁性金屬粉體吸附固定;電泳沈積裝置,其係設於廢液流道之中游端,且該電泳沈積裝置具有電極板,使該電極板產生電場作用,將廢液中之帶電矽粉體粒子吸附沈積於該電極板上。
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