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薄型真空腔體裝置 Thin type vacuum chamber device |
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2008/01/17 (096074US) 2007/12/21 (096074TW) |
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7,601,959 美國 I351517 中華民國 |
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國立中央大學 |
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歐陽盟、李宗昇、張明化 |
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一種薄型真空腔體裝置,適用於紅外線面型感測元件,其包括:一腔體,其係包含二中空平板;一旋轉爪扣,係緊扣該二中空平板使該腔體以形成一密閉空間;二旋轉軸閥,分別位於該腔體二側邊,一左真空軸閥為抽取真空端,一右真空軸閥則為檢測真空狀態;一視窗,位於中空平板上,可供光線進入該腔體;以及一訊號傳輸裝置,包含導通裝置及傳輸部,其中該導通裝置設置於該腔體內,而該傳輸部連結該腔體內之導通裝置,將訊號傳輸至一外部接收裝置。 |
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本發明係有關一種真空腔裝置,特別是關於一種薄型真空腔體裝置。 |
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真空腔 |
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G01N-021/03(2006.01);G01J-005/02(2006.01) |
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1.一種薄型真空腔體裝置,適用於紅外線面型感測元件,其包括:一腔體,其係包含二中空平板;一旋轉爪扣,係緊扣該二中空平板使該腔體以形成一密閉空間;二旋轉軸閥,分別位於該腔體二側邊,一左真空軸閥為抽取真空端,一右真空軸閥則為檢測真空狀態;一視窗,位於中空平板上,可供光線進入該腔體;以及一訊號傳輸裝置,包含導通裝置及傳輸部,其中該導通裝置設置於該腔體內,而該傳輸部連結該腔體內之導通裝置,將訊號傳輸至一外部接收裝置。 |
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