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表面電漿共振檢測設備及其撓性連桿平台
專利名稱 表面電漿共振檢測設備及其撓性連桿平台
申請日 (校編號) 2006/05/12  (094046TW)
專利證書號 I308212 中華民國
專利權人 國立中央大學
發明人 蔡錫錚、鄭文琳、黃衍任


技術摘要:
一種表面電漿共振檢測設備,包括撓性連桿平台、光源組、三稜鏡、金屬薄膜與光偵測單元。撓性連桿平台之輸入桿的自由端適於進行線性運動,以帶動輸出桿旋轉。光源組會隨著輸出桿旋轉,因而改變其所發出之偏振光入射三稜鏡的角度。金屬薄膜配置於三稜鏡的底面上,待測物則配置於金屬薄膜未與三稜鏡接觸的表面上。偏振光經由三稜鏡照射至金屬薄膜後,會被金屬薄膜反射。光偵測單元係用以偵測偏振光被金屬薄膜反射而從三稜鏡出射的光强度。當所偵測到的光强度為零時,偏振光的入射角即為待測物的共振角。

解決的問題或達成的功效:
關於一種檢測器及其承載平台,且特別是有關於一種表面電漿共振檢測設備及其撓性連桿平台

應用領域:
本發明係利用撓性連桿平台來承載檢測表面電漿波的元件,此撓性連桿平台的輸入桿之自由端的運動軌跡近似直線,且其能夠帶動撓性連桿平台的輸出桿做旋轉運動,進而改變檢測用之偏振光入射三稜鏡的入射角度。因此,本發明之表面電漿共振檢測設備不但可以有效地完成表面電漿共振檢測,更可以大幅降低設備體積與製造成本。

適用產品:
精密位移量測工具

IPC:
G01N-021/55(2006.01);G12B-005/00(2006.01)

Claim 1:
1.一種表面電漿共振檢測設備,適於檢測一待測物之共振角,該表面電漿共振檢測設備包括: 一撓性連桿平台,包括一輸入桿、一輸出桿、一連接桿與一固定桿,該輸入桿之一端樞接於該輸出桿之一端,該連接桿之一端樞接於該輸入桿之中心,該連接桿另一端樞接於該固定桿之一端,該輸出桿之另一端則樞接於該固定桿之另一端,其中該輸入桿之自由端適於相對該固定桿而進行線性運動,該輸出桿則適於以連接至該固定桿之一端為軸心而旋轉; 一光源組,配置於該撓性連桿平台上,並相對該輸出桿而固定,其中該光源組適於提供一偏振光; 一三稜鏡,配置於該撓性連桿平台上,並相對該固定桿而固定,該三稜鏡具有一光入射面、一光出射面與一底面,且該三稜鏡位於該偏振光之光路徑上; 一金屬薄膜,鍍於該三稜鏡之該底面上,其中當該偏振光由該光入射面入射該稜鏡,並照射至該金屬薄膜後,該偏振光會被反射而從該光出射面出射,而該待測物係配置於該金屬薄膜之表面上;以及 一光偵測單元,配置於該偏振光從該三稜鏡出射後的光路徑上,適於偵測該偏振光從該稜鏡出射後的光强度。

相關圖片:
     
 
     
 
     
 
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