 技術摘要： |
本發明提供一種掃描式曝光裝置，供曝光一物件，以形成一曝光物件，包含進料端、岀料端、輸送模組、光源單元與控制單元。該進料端傳遞該物件。該岀料端傳遞該曝光物件。該輸送模組包含一承載單元與一傳動單元。該承載單元受到該傳動單元的牽引以一速度朝一方向移動，該承載單元之一面承載來自於該進料端的該物件。該光源單元包含一盤體與複數輻射體。該等輻射體依照一輻射體佈局設置在該盤體之一側，該光源單元設置在該承載單元之一側，讓該等輻射體分別地產生一輻射光線，以輻射至該物件。該控制單元控制每一該等輻射體，讓該輻射光線可均勻地輻射至該物件。其中，該物件根據該速度與該輻射光線形成該曝光物件。
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| 解決的問題或達成的功效： |
另一種掃描式曝光裝置，主要的方式係讓物件在輸送帶移動過程中，可藉由調整該輸送帶的光源之輻射時間、輻射強度等特性，並且結合輸送帶的速度，以決定該物件接受的輻射量，而達到解決習知技術的缺失。
本發明的該等輻射體可根據該物件的特性，分別地驅動該等輻射體，以確保該物件可以接受到相同、相似或特定的輻射能量(或稱曝光能量)。其中，根據該輻射體的光學特性，利用一演算法讓每一該輻射體都可以有獨立的驅動方式，以達到該等輻射體可均勻地輻射至該物件。
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| 應用領域： |
關於曝光機的技術領域
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| 適用產品： |
掃描式曝光裝置
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| IPC： |
G03F-007/20(2006.01)
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| Claim 1： |
1.一種掃描式曝光裝置，供曝光一物件，以形成一曝光物件，包含： 一進料端，供傳遞該物件； 一岀料端，供傳遞該曝光物件； 一輸送模組，具有一承載單元與一傳動單元，該輸送模組設置在該進料端與該出料端之間，該承載單元連接該傳動單元，該承載單元受到該傳動單元的牽引而以一速度朝一方向移動，該承載單元之一面承載來自於該進料端的該物件； 一光源單元，具有一盤體與複數輻射體，該等輻射體依照一輻射體佈局設置在該盤體之一側，該光源單元設置在該承載單元之一側，讓該等輻射體分別地產生一輻射光線，該輻射光線輻射至該物件；以及 一控制單元，係連接該等輻射體，該控制單元控制每一該等輻射體，讓該輻射光線可均勻地輻射至該物件； 其中該物件根據該速度與該輻射光線形成該曝光物件。
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