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掃描式曝光裝置
專利名稱 掃描式曝光裝置
申請日 (校編號) 2015/01/30  (104005TW)
專利證書號 I647542 中華民國
專利權人 國立中央大學
發明人 陳奇夆、孫晧格


技術摘要:
本發明提供一種掃描式曝光裝置,供曝光一物件,以形成一曝光物件,包含進料端、岀料端、輸送模組、光源單元與控制單元。該進料端傳遞該物件。該岀料端傳遞該曝光物件。該輸送模組包含一承載單元與一傳動單元。該承載單元受到該傳動單元的牽引以一速度朝一方向移動,該承載單元之一面承載來自於該進料端的該物件。該光源單元包含一盤體與複數輻射體。該等輻射體依照一輻射體佈局設置在該盤體之一側,該光源單元設置在該承載單元之一側,讓該等輻射體分別地產生一輻射光線,以輻射至該物件。該控制單元控制每一該等輻射體,讓該輻射光線可均勻地輻射至該物件。其中,該物件根據該速度與該輻射光線形成該曝光物件。

解決的問題或達成的功效:
另一種掃描式曝光裝置,主要的方式係讓物件在輸送帶移動過程中,可藉由調整該輸送帶的光源之輻射時間、輻射強度等特性,並且結合輸送帶的速度,以決定該物件接受的輻射量,而達到解決習知技術的缺失。 本發明的該等輻射體可根據該物件的特性,分別地驅動該等輻射體,以確保該物件可以接受到相同、相似或特定的輻射能量(或稱曝光能量)。其中,根據該輻射體的光學特性,利用一演算法讓每一該輻射體都可以有獨立的驅動方式,以達到該等輻射體可均勻地輻射至該物件。

應用領域:
關於曝光機的技術領域

適用產品:
掃描式曝光裝置

IPC:
G03F-007/20(2006.01)

Claim 1:
1.一種掃描式曝光裝置,供曝光一物件,以形成一曝光物件,包含: 一進料端,供傳遞該物件; 一岀料端,供傳遞該曝光物件; 一輸送模組,具有一承載單元與一傳動單元,該輸送模組設置在該進料端與該出料端之間,該承載單元連接該傳動單元,該承載單元受到該傳動單元的牽引而以一速度朝一方向移動,該承載單元之一面承載來自於該進料端的該物件; 一光源單元,具有一盤體與複數輻射體,該等輻射體依照一輻射體佈局設置在該盤體之一側,該光源單元設置在該承載單元之一側,讓該等輻射體分別地產生一輻射光線,該輻射光線輻射至該物件;以及 一控制單元,係連接該等輻射體,該控制單元控制每一該等輻射體,讓該輻射光線可均勻地輻射至該物件; 其中該物件根據該速度與該輻射光線形成該曝光物件。

聯繫方式
聯絡人:研發處智權技轉組 與我連絡
電話:03-4227151 #27076、27077 網址:http://www.caic.ncu.edu.tw/
地 址: 32001桃園市中壢區中大路300號
 
                 
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