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旋轉式曝光機
專利名稱 旋轉式曝光機
申請日 (校編號) 2014/11/21  (103048TW)
專利證書號 I575333 中華民國
專利權人 國立中央大學
發明人 陳奇夆、孫皓格


技術摘要:
本發明是一種旋轉式曝光機,該旋轉式曝光機包含承載單元、致動單元、載具與控制單元。該承載單元能夠設置複數待曝光物。該致動單元設置在該承載單元之上。該致動單元輸出一扭力。該載具包含一盤體與複數發光體。該等發光體依照一光源佈局設置在該盤體之上。該載具受到該扭力而以一轉速朝一方向轉動。藉由排列每一該等發光體出射的一光線,讓該等光線均勻地出射至該等待曝光物,讓該等待曝光物能受到相同或相似的曝光能量。該控制單元輸出一控制訊號驅動該等發光體。該控制訊號決定該等發光體的開啟與關閉,以及決定每一該等發光體的發光強度。

解決的問題或達成的功效:
提供一種旋轉式曝光機,能夠在一時間內對一待曝光物提供均勻的曝光能量,而讓該待曝光物可受到相同或相似的曝光能量。 透過估算該等發光體之間的距離、分佈方式與發光強度,可採用該等發光體的最低限度數量,以達到低成本與高均勻度的功效。

應用領域:
關於曝光機的技術領域 特別是一種對一待曝光物進行高均勻度光能量曝光的旋轉式曝光機。

適用產品:
旋轉式曝光機

IPC:
G03F-007/20(2006.01)

Claim 1:
1.一種旋轉式曝光機,包含:一承載單元,供設置複數待曝光物;一致動單元,係設置在該承載單元之上,該致動單元輸出一扭力;一載具,係具有一盤體與複數發光體,該等發光體依照一光源佈局設置在該盤體之上,該載具結合該致動單元,該載具受到該扭力而以一轉速朝一方向旋轉,藉由排列每一該等發光體出射的一光線,讓該等光線均勻地出射至該等待曝光物,供該等待曝光物受到相同或相似的曝光能量;以及一控制單元,係連接該等發光體,該控制單元輸出一控制訊號驅動該等發光體,其中該控制訊號決定該等發光體的開啟與關閉,以及該等發光體的發光強度;根據該等發光體的特性,利用一演算法估算出該等發光體的參數,而該參數讓該等發光體均勻地出射至該待曝光物,其中該演算法的步驟包含,步驟S1,係選擇該光源佈局的排列方式;步驟S2,係測量該等發光體的特性,以取得光出射角度、光出射高度、光驅動電流電壓與發光強度之至少一者的一處理配光參數;步驟S3,係該處理配光參數與至少一階的線性曲線進行擬合;以及步驟S4,估算出每一該等發光體所需調整的參數。

聯繫方式
聯絡人:研發處智權技轉組 與我連絡
電話:03-4227151 #27076、27077 網址:http://www.caic.ncu.edu.tw/
地 址: 32001桃園市中壢區中大路300號
 
                 
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