規則有序矽基微奈米孔洞陣列結構之製作方法
 專利名稱 |
具有規則結構之矽基板的製造方法 METHOD OF MANUFACTURING SILICON SUBSTRATE WITH WELL-ORDERED STRUCTURE |
| 申請日 (校編號) |
2012/08/14 (101006TW) |
| 專利證書號 |
I473157 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
鄭紹良、林耀星 |
| 技術摘要： |
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| 本發明係揭露一種具有規則結構之矽基板的製造方法。方法包括提供矽基板；提供自組裝之聚合物排列於矽基板之表面上，以使聚合物接觸之表面為第一區域，且聚合物未接觸之表面為第二區域；利用電漿處理矽基板之表面，以於第二區域產生保護層；以及使矽基板進行蝕刻處理，以侵蝕第一區域而產生凹部，而得到具有規則結構之矽基板。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 本發明是有關於一種矽基板的製造方法，特別是有關於一種具有規則結構之矽基板的製造方法。 |
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| 應用領域： |
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| 具有規則結構之矽基板的製造 |
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| 適用產品： |
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| 半導體 |
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| IPC： |
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| H01L-021/306(2006.01) |
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| Claim 1： |
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| 1.一種具有規則結構之矽基板的製造方法，其包括：提供一矽基板；提供自組裝之複數個聚合物排列於該矽基板之一表面上，以使該些聚合物接觸之該表面為一第一區域，且該些聚合物未接觸之該表面為一第二區域；利用一電漿處理該矽基板之該表面之該第二區域，以於該第二區域產生一保護層；以及使該矽基板進行一蝕刻處理，以侵蝕該第一區域而產生複數個凹部，而得到具有規則結構之該矽基板；其中，該些聚合物係為複數個球狀聚合物。 |
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| 相關圖片： |
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