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具有規則結構之矽基板的製造方法 METHOD OF MANUFACTURING SILICON SUBSTRATE WITH WELL-ORDERED STRUCTURE |
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2012/08/14 (101006TW) |
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I473157 中華民國 |
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國立中央大學 |
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鄭紹良、林耀星 |
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本發明係揭露一種具有規則結構之矽基板的製造方法。方法包括提供矽基板;提供自組裝之聚合物排列於矽基板之表面上,以使聚合物接觸之表面為第一區域,且聚合物未接觸之表面為第二區域;利用電漿處理矽基板之表面,以於第二區域產生保護層;以及使矽基板進行蝕刻處理,以侵蝕第一區域而產生凹部,而得到具有規則結構之矽基板。 |
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本發明是有關於一種矽基板的製造方法,特別是有關於一種具有規則結構之矽基板的製造方法。 |
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具有規則結構之矽基板的製造 |
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半導體 |
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H01L-021/306(2006.01) |
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1.一種具有規則結構之矽基板的製造方法,其包括:提供一矽基板;提供自組裝之複數個聚合物排列於該矽基板之一表面上,以使該些聚合物接觸之該表面為一第一區域,且該些聚合物未接觸之該表面為一第二區域;利用一電漿處理該矽基板之該表面之該第二區域,以於該第二區域產生一保護層;以及使該矽基板進行一蝕刻處理,以侵蝕該第一區域而產生複數個凹部,而得到具有規則結構之該矽基板;其中,該些聚合物係為複數個球狀聚合物。 |
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