專利名稱 | 光路轉折器之製作裝置與製作方法MANUFACTURING DEVICE OF OPTICAL DEFLECTOR AND MANUFACTUIRNG METHOD |
申請日 (校編號) | 2011/05/11 (100011TW) |
專利證書號 | I429972 中華民國 |
專利權人 | 國立中央大學 |
發明人 | 戴朝義 |
技術摘要: | ||||||||
本發明係有關於一種光路轉折器之製作裝置與製作方法,係包含一移動工作平台、一基板、一透鏡與一飛秒雷射產生器。基板設於該移動工作平台,且該基板塗佈一高分子光阻膜;透鏡位於該移動工作平台之一側,一飛秒雷射產生器,發出一飛秒雷射穿透該透鏡並在該透鏡之非焦距位置照射該高分子光阻膜,以產生一光路轉折器。如此藉由飛秒雷射穿透該透鏡並照射位於該透鏡之非焦距位置之高分子光阻膜,即可製作光路轉折器,以提升光路轉折器之生產效率。 |
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解決的問題或達成的功效: | ||||||||
本發明係有關於一種高分子元件之製作裝置與製作方法,特別是指一種光路轉折器之製作裝置與製作方法。 |
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應用領域: | ||||||||
適用產品: | ||||||||
IPC: | ||||||||
G02B-006/122(2006.01);G02B-006/13(2006.01) |
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Claim 1: | ||||||||
1.一種光路轉折器之製作裝置,係包含:一移動工作平台;一基板,設於該移動工作平台,該基板塗佈一高分子光阻膜;一透鏡,位於該移動工作平台之一側,且該移動工作平台移動至於該透鏡之一非焦距位置並固定;以及一飛秒雷射產生器,位於該透鏡之一側,該飛秒雷射產生器產生一飛秒雷射穿透過該透鏡並對固定在該非焦距位置之該高分子光阻膜進行照射,以產生一光路轉折器,該光路轉折器具有一第一導光面及一第二導光面,其中該第一導光面與該第二導光面為對稱之平面或弧凸面。 |
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相關圖片: | ||||||||
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