 技術摘要： |
一種晶圓定位系統，適用於感測一晶圓的位置，包括：一光束經由一柱狀透鏡展開成一扇狀擴束光線，並投射於一散射面上；散射面將扇狀擴束光線分為兩線狀擴束光線；感光單元設置於散射面上；托運單元支托晶圓於感光單元及散射面之間移動，其中托運單元具有一參考點及兩端點，兩端點位於一水平線上，參考點位於水平線上之一中垂線上，晶圓之一圓心大致上位於參考點上；當晶圓通過兩線狀擴束光線時，將部分遮斷線線狀擴束光線，感光單元擷取兩線狀擴束光線的光影變化，利用影像處理的方法可得到圓心相對於參考點的誤差值。
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| 解決的問題或達成的功效： |
於提供一晶圓定位系統及其方法，來檢測晶圓的位置，以提升製程之良率。
藉由托運單元之V形開口的設計以及線狀擴束光線的產生，並利用感光單元擷取被晶圓與托運單元所遮蔽之線狀擴束光線的光影變化，來進行影像處理，以計算得到托運單元之參考點與晶圓之圓心的誤差值。成膜設備之傳輸腔體中採用上述系統及其方法，可得知托運單元之參考點與晶圓之圓心的相對位置關係，來調整晶圓擺放於傳輸腔體中的位置，進而提升製程之良率。
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| 應用領域： |
關於一種晶圓定位系統及其方法，特別是一種於傳輸腔體中晶圓位置感測的系統及其方法。
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| 適用產品： |
晶圓加工
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| IPC： |
H01L-021/66(2006.01);
H01L-021/68(2006.01)
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| Claim 1： |
1.一種晶圓定位系統，適用於感測一晶圓的位置，包括：一光源模組，發射一扇狀擴束光線；一散射面，設置於該扇狀擴束光線之光路徑上，用以將該扇狀擴束光線分為一第一線狀擴束光線及一第二線狀擴束光線，該第一線狀擴束光線沿著一第一光路徑行進，該第二線狀擴束光線沿著一第二光路徑行進；一感光單元，設置於該散射面上，並且包括一運算單元；以及，一托運單元，用以支托該晶圓，並於該感光單元及該散射面之間移動，該托運單元具有一參考點及兩端點，該兩端點位於一水平線上，該參考點位於該水平線上之一中垂線上，並且當該晶圓置放於該托運單元上時，該晶圓之一圓心大致上位於該參考點上，其中，當該晶圓及該托運單元通過該第一光路徑以及該第二光路徑時，該兩端點分別與該第一線狀擴束光線交會，而產生兩第一交會點，該晶圓的邊緣與該第二線狀擴束光線交會，而產生兩第二交會點，該感光單元擷取該兩第一交會點及該兩第二交會點，並且該運算單元根據該兩第一交會點及該兩第二交會點，以計算該圓心與該參考點之間的一誤差值。
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