具折射率及厚度修正效益之精密光學鍍膜監控法
 專利名稱 |
具折射率及厚度修正效益之精密光學鍍膜監控法 |
| 申請日 (校編號) |
2007/07/27 (096053TW) |
| 專利證書號 |
I328675 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
李正中、吳鍇 |
| 技術摘要： |
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| 聯繫方式 |
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