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表面輪廓檢測裝置 Instrument for surface profile inspection
專利名稱 表面形貌檢測裝置
申請日 (校編號) 2014/08/29  (103025TW)
專利證書號 I524049 中華民國
專利權人 國立中央大學
發明人 韋安琪、施至柔


技術摘要:
本發明為表面形貌檢測裝置,其包括:一輻射源;一透反式元件;一梯度強度調制器;一會聚元件;以及一偵測模組。表面形貌檢測裝置係利用輻射源、透反式元件及梯度強度調制器,產生一個於軸向之強度為梯度分佈之探測波照射目標物,由目標物反射之探測波再經由梯度強度調制器、透反式元件、會聚元件及偵測模組接收。依據偵測模組所接收測得的不同強度的訊號,結合偵測位置之反推,可得出目標物之線性表面形貌。進一步使用表面形貌檢測裝置對目標物進行二維掃描,或使用線性陣列之表面形貌檢測裝置進行一維線性掃描且掃描方向為與線性陣列之排列方向垂直,則可以得出目標物之整體的表面形貌。

解決的問題或達成的功效:
一、系統架構簡單且架設容易,不需複雜昂貴的光源元件,亦不需精準校正光路即可使用,大幅節省人力、物力與時間。 二、可以精確量測目標物的表面形貌。 三、可經由控制探測波之梯度分佈的軸向範圍及探測波之波長,控制整體對目標物表面形貌量測之縱深範圍與解析度。 四、可以對目標物進行一次且整面性之量測,具有快速檢測及快速獲得目標物的表面形貌之優勢。 五、可控制探測波之梯度分佈為遞增或遞減,以因應不同的應用需求。

應用領域:
本發明係關於一種表面形貌檢測裝置,特別是關於利用輻射梯度強度場所進行一種表面形貌檢測的方法及其裝置。 

適用產品:
表面形貌檢測

IPC:
G01B-011/24(2006.01);G01S-017/88(2006.01)

Claim 1:
1.一種表面形貌檢測裝置,其包括有:一輻射源,其發射一波源;一透反式元件,其係受該輻射源照射,並將該波源反射至一光路徑上;一梯度強度調制器,其包含依序排列於該光路徑上並共有一中央軸之至少一強度調制透鏡,每一該強度調制透鏡係具有一第一表面及與該第一表面相對之一第二表面,每一該強度調制透鏡之該第一表面係皆朝向同一方向設置並與該中央軸相垂直,其中至少一該強度調制透鏡之該第一表面或該第二表面係固設有複數微結構,該梯度強度調制器係將射入之該波源調變為穿透及射出該梯度強度調制器且於該中央軸上強度為梯度分佈之一探測波,又將經一目標物反射並射入該梯度強度調制器之該探測波調變為一反射波照射並穿透該透反式元件;一會聚元件,其係將穿透該透反式元件之該反射波聚焦至一焦點;以及一偵測模組,其固設於該焦點之位置,接收及處理該反射波,並儲存及輸出該目標物之一表面縱深位置資料,其中該些微結構係結合為一非球面輪廓結構。 

相關圖片:
     
 
     
 
     
 
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