疊紋式晶圓翹曲量測技術
 專利名稱 |
光學式晶圓翹曲量測系統 OPTICAL WAFER WARPAGE DETECTION SYSTEM |
| 申請日 (校編號) |
2014/03/26 (103004TW) |
| 專利證書號 |
I484136 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
李朱育、謝宏麟、蔡宇軒 |
| 技術摘要： |
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| 本發明為光學式晶圓翹曲量測系統，其包括：一光源；一光衰減器；一光柵；一分光器；一透鏡；一光偵測器；以及一處理單元，其係使用分光器及透鏡可將經由光柵產生之條紋光導引至一待測晶圓，再經由光偵測器接收待測晶圓反射之條紋訊號並由處理單元進行疊紋影像處理而得到待測晶圓之翹曲資料。本發明之光學式晶圓翹曲量測系統具有系統架構簡單且架設容易、量測系統與待測物之間的距離可自由調整、提高量測解析度及可以對待測晶圓進行一次性且整面性之量測，具有檢測快速之優勢。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 本發明係關於一種光學式量測系統，特別是關於一種光學式晶圓翹曲量測系統。 |
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| 應用領域： |
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| 適用產品： |
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| LED晶圓 |
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| IPC： |
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| G01B-011/16(2006.01);H01L-021/66(2006.01) |
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| Claim 1： |
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| 1.一種光學式晶圓翹曲量測系統，其包括有：一光源，其具有一第一光路徑；一光衰減器、一光柵、一分光器及一透鏡，依序固設於該第一光路徑上，並使該光衰減器位於該光源及該光柵之間，其中一第二光路徑形成自該分光器並與該第一光路徑相垂直，又其中該分光器係將通過該光柵之一條紋光導引通過該透鏡形成一準直平行條紋光後照射至一待測晶圓、接收該待測晶圓反射之一條紋反射光，並將該條紋反射光導引至該第二光路徑；一光偵測器，固設於該第二光路徑上，其接收該條紋反射光及輸出與該條紋反射光相對應之一條紋訊號；以及一處理單元，與該光偵測器電訊相連接，其輸入該條紋訊號、進行該條紋訊號之疊紋影像處理，並輸出及儲存該待測晶圓之一翹曲資料。 |
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| 相關圖片： |
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