電子顯微鏡、探針接觸點及其接觸的測定方法 ELECTRON MICROSCOPE, METHODS TO DETERMINE THE CONTACT POINT AND THE CONTACT OF THE PROBE
 專利名稱 |
電子顯微鏡、探針接觸點及其接觸的測定方法 ELECTRON MICROSCOPE, METHODS TO DETERMINE THE CONTACT POINT AND THE CONTACT OF THE PROBE |
| 申請日 (校編號) |
2006/07/23 (095005US) 2006/05/11 (095005TW) |
| 專利證書號 |
7,435,954 美國 I311328 中華民國 |
| 專利權人 |
國立中央大學 |
| 發明人 |
粘正勳、蔡春鴻、辛坤瑩、簡紋濱 |
| 技術摘要： |
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| 一種電子顯微鏡,適於觀察至少一試片,試片具有至少一測試區域,且位於測試區域上之試片的材質為半導體或導體。電子顯微鏡包括一載台、一電子槍以及至少一探針。載台適於承載試片且試片未接地。電子槍適於發出一電子束,以在試片上累積電荷。探針與測試區域接觸時,測試區域所呈現的影像對比將改變。使用者可藉由影像對比之改變,來判斷探針與試片之接觸時機與接觸點。 |
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| 解決的問題或達成的功效： |
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| 本發明不僅不須選用因針尖極細而造價高昂的探針，更可避免探針與試片的過度接觸，造成探針或試片表面的傷害。同時，更可進一步的利用探針與試片上的測試區域接觸時，量測通過探針的電流來判別探針與試片的接觸與否。因此，本發明可同時兼具影像對比的定性與電流改變的定量兩種判別方式，令使用者可以更為精確的判定探針與試片接觸的時間點。
探針的尖細程度不再成為接觸點判定上的問題。令使用者不僅不需要選用極為尖細而造價昂貴的探針，亦可提高探針的使用壽命。 |
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| 應用領域： |
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| 關於一種探針接觸點及其接觸的測定方法，且特別是有關於一種電子顯微鏡內的探針接觸測定及接觸點定位法。 |
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| 適用產品： |
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| 電子顯微鏡 |
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| IPC： |
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| G01R31/307
H01J2237/2594 |
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| Claim 1： |
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| 1.一種電子顯微鏡,適於觀察至少一試片,該試片具有至少一測試區域,且位於該測試區域上之該試片的材質為半導體或導體,該電子顯微鏡包括:
一載台,適於承載該試片,且該試片為未接地;
一電子槍,適於發出一電子束,以在該試片上累積電荷;以及
至少一探針,該探針與該測試區域接觸時,該測試區域所呈現的影像對比將改變。 |
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| 聯繫方式 |
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