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電子顯微鏡、探針接觸點及其接觸的測定方法 ELECTRON MICROSCOPE, METHODS TO DETERMINE THE CONTACT POINT AND THE CONTACT OF THE PROBE
專利名稱 電子顯微鏡、探針接觸點及其接觸的測定方法 ELECTRON MICROSCOPE, METHODS TO DETERMINE THE CONTACT POINT AND THE CONTACT OF THE PROBE
申請日 (校編號) 2006/07/23  (095005US)
2006/05/11  (095005TW)
專利證書號 7,435,954  美國
I311328 中華民國
專利權人 國立中央大學
發明人 粘正勳、蔡春鴻、辛坤瑩、簡紋濱


技術摘要:
一種電子顯微鏡,適於觀察至少一試片,試片具有至少一測試區域,且位於測試區域上之試片的材質為半導體或導體。電子顯微鏡包括一載台、一電子槍以及至少一探針。載台適於承載試片且試片未接地。電子槍適於發出一電子束,以在試片上累積電荷。探針與測試區域接觸時,測試區域所呈現的影像對比將改變。使用者可藉由影像對比之改變,來判斷探針與試片之接觸時機與接觸點。

解決的問題或達成的功效:
本發明不僅不須選用因針尖極細而造價高昂的探針,更可避免探針與試片的過度接觸,造成探針或試片表面的傷害。同時,更可進一步的利用探針與試片上的測試區域接觸時,量測通過探針的電流來判別探針與試片的接觸與否。因此,本發明可同時兼具影像對比的定性與電流改變的定量兩種判別方式,令使用者可以更為精確的判定探針與試片接觸的時間點。 探針的尖細程度不再成為接觸點判定上的問題。令使用者不僅不需要選用極為尖細而造價昂貴的探針,亦可提高探針的使用壽命。

應用領域:
關於一種探針接觸點及其接觸的測定方法,且特別是有關於一種電子顯微鏡內的探針接觸測定及接觸點定位法。

適用產品:
電子顯微鏡

IPC:
G01R31/307 H01J2237/2594

Claim 1:
1.一種電子顯微鏡,適於觀察至少一試片,該試片具有至少一測試區域,且位於該測試區域上之該試片的材質為半導體或導體,該電子顯微鏡包括: 一載台,適於承載該試片,且該試片為未接地; 一電子槍,適於發出一電子束,以在該試片上累積電荷;以及 至少一探針,該探針與該測試區域接觸時,該測試區域所呈現的影像對比將改變。

聯繫方式
聯絡人:研發處智權技轉組 與我連絡
電話:03-4227151 #27076、27077 網址:http://www.caic.ncu.edu.tw/
地 址: 32001桃園市中壢區中大路300號
 
                 
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