技術摘要: |
本發明主要提供長晶爐一種能夠有效降低雜質濃度,藉以提升晶體品質之供氣裝置;所述之供氣裝置係包括有:一相對罩設於坩堝外圍的絕熱層、一設於絕熱層上的輸氣管,以及若干設於絕熱層的排氣孔;其中,輸氣管之管口處設有一組可供調整角度之導流罩,使熔湯之自由表面得以同步接受導引氣流之吹拂作用,而加速將雜質帶離自由表面之速率,以有效降低雜質濃度,藉以提熔湯冷卻固化後之晶體品質。
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解決的問題或達成的功效: |
提供長晶爐一種可以有效降低雜質濃度,藉以提升晶體品質之供氣裝置
相對罩設於坩堝外圍的絕熱層、一設於絕熱層上的輸氣管,以及若干設於絕熱層的排氣孔,使得以配合由輸氣管輸入預定流速的氣體,藉以產生通過熱場的氣流,以將容易形成雜質的氧化物排出;尤其,輸氣管之管口處設有一組可供調整角度之導流罩,其通過輸氣管之氣流在導流罩之作用下,使熔湯之自由表面得以同步接受導引氣流之吹拂作用,達到有效降低雜質濃度之目的,進而提升晶體之品質。
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應用領域: |
有關一種應用於長晶爐之供氣裝置,尤指一種可以有效降低雜質濃度之長晶爐供氣裝置。
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適用產品: |
太陽能電池
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IPC: |
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Claim 1: |
1.一種長晶爐之供氣裝置,係包括有:一相對罩設於坩堝外圍的絕熱層、一設於絕熱層上的輸氣管,以及若干設於絕熱層的排氣孔;其特徵在於:該輸氣管之管口處設有一組可供調整角度之導流罩,且該導流罩之外圍輪廓形狀與該坩堝內部輪廓形狀係為相同。
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