技術摘要: |
本發明之熱場裝置係由一相對罩設於坩堝外圍的絕熱層為主體,在絕熱層相對於坩堝上方的位置處設有一可相對伸入坩堝內部的輸氣管,另於絕熱層上設有預定數量之排氣孔。俾,可利用該輸氣管相對伸入坩堝內部之設計,使輸氣管之管口與坩堝內部熔湯之自由表面保持在10cm距離的範圍內,使熔湯之自由表面得以同步接受導引氣流之吹拂作用,進而加速將雜質帶離自由表面之速率,以有效降低雜質濃度,藉以提熔湯冷卻固化後之晶體品質。
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解決的問題或達成的功效: |
提供長晶爐一種可以有效降低雜質濃度,藉以提升晶體品質之熱場裝置
使輸氣管之管口與坩堝內部熔湯之自由表面保持在10cm距離的範圍內,使得以在相同氣體流速之條件下,可增加自由表面氣體之流速,能夠將氣化之雜質混合氣迅速帶離熔湯之自由表面,並加速將雜質帶離自由表面之速率,以有效降低雜質濃度,
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應用領域: |
有關一種用以製造晶體之熱場裝置,尤指一種可以有效降低雜質濃度之熱場裝置。
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適用產品: |
太陽能電池
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IPC: |
C30B-035/00(2006.01);
F27D-001/00(2006.01)
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Claim 1: |
1.一種熱場裝置,係具有一相對罩設於坩堝外圍的絕熱層、一供連接惰性氣體輸氣管,該絕熱層設有預定數量之排氣孔;其特徵在於:該輸氣管之管口係與該坩堝內部熔湯之自由表面保持在10cm距離的範圍內,而該輸氣管之管口處設有呈預定角度向外延伸擴張之導流板。
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